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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제15권 제1호
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2002.1
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An accurate cross sections set are necessary for the quantitatively understanding and modeling of plasma phenomena. By using the electron swarm method, we determine an accurate electron cross sections set for objective atoms or molecule at low electron energy range. It is general calculation that used in this method to an two-term approximation of Boltzmann equation. But it may give erroneous transport coefficients for CF4 molecule treated in this paper having ‘C2v symmetry’, therefore, multi-term approximation of the Boltzmann equation analysis which can consider anisotropic scattering exactly is carried out. It is necessary to require understanding of the fundamental principle of analysis method. Therefore, in this paper, we compared the electron transport coefficients(W and NDL) in pure Ar, O2, and CF4 gas calculated by using two-term approximation of the Boltzmann equation analysis code uses the algorithm proposed by Tagashira et al. with those by multi-term approximation by Robson and Ness which was developed at James-Cook university, and discussed an application and/or validity of the calculation method by comparing these calculated results

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