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ICP 광원의 정격용량 설계 요소와 전기적 의존성
전기학회논문지
2008 .03
안테나에서 페라이트 위치 변화에 따른 전자계 시뮬레이션과 전기적ㆍ광학적 특성
전기학회논문지
2008 .05
Large Area Plasma Characteristics using Internal Linear ICP (Inductively Coupled Plasma) Source for the FPD processing
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2006 .01
Plasma Characteristics of (DF-ICP) Dual Frequency Inductively Coupled Pulsed Plasma Source
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
발진 이론에 근거한 유도결합형 방전광원의 안정기 설계에 관한 연구
전기학회논문지
2009 .06
E-H Mode Transition Properties of Cylindrical ICP Hg:Kr
KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
2005 .06
아르곤/이산화탄소 혼합가스의 유도 결합 플라즈마를 이용한 이산화탄소 분해 연구
KEPCO Journal on electric power and energy
2015 .01
Analysis of Novel Helmholtz-inductively Coupled Plasma Source and Its Application for Nano-Scale MOSFETs
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2009 .01
Plasma Properties of Dual-Frequency Inductively Coupled Plasma Source
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
Ar 가스 압력과 RF 전력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전기적 및 광학적 특성
전기전자재료학회논문지
2004 .01
13.56 MHz 유도 결합 플라즈마에서의 강자성체 페라이트 코어의 효과
반도체및디스플레이장비학회지
2005 .01
INDUCTIVELY COUPLED PLASMA (ICP) OXIDATION FOR LOW-TEMPERATURE POLY-Si THIN FILM TRANSISTORS
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
대면적 내장 선형 ICP(inductively coupled plasma) system에서 자장이 플라즈마와 PR(Photoresist) 식각 특성에 미치는 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
E-ICP에 의한 산화막 식각특성
대한전자공학회 학술대회
2000 .06
디스플레이 공정용 ICP 장비에서 안테나 구조 변화에 따른 플라즈마 변수 비교
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .05
Characteristics of Line-type Internal Inductively Coupled Plasma Source for Flexible Display Processing
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2009 .01
Plasma Properties by Pulsed Inductively Coupled Plasma Source using Dual Frequency
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
펄스직류방전과 유도결합방전의 복합에 의한 SCM440강의 이온질화
한국표면공학회지
2010 .04
전송선로를 이용한 플라즈마 전력 전달 연구
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
Ar 가스 압력과 RF 전력변화에 따른 유도결합형 플라즈마 E-H모드 변환의 광학적 특성
전기학회논문지 C
2004 .01
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