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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제18권 제8호
발행연도
2005.1
수록면
772 - 778 (7page)

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In this paper, we designed the cylindrical type light source that had a electromagnetic principle of inductively coupled plasma, and measured its electrical-optical properties. Using the principle of transformer, electrically equivalent circuit of cylindrical type light source was analyzed. According to the parameters of electromagnetic induction which were diameter of coil with 0.3∼1.2 mmφ, number of turns with 4∼12 turns, distance with 40∼120 mm and RF power with 10∼150 W, the electrical and optical properties were measured. When diameter of coil was 0.3 mmφ, number of turns was 8 turns and distance was 40 mm, the highest brightness of 29,730 cd/m2 was shown with RF power 150 W. The relationship between electromagnetic induction and plasma discharges was shown by mode transition from E-mode to H-mode.
#Inductively coupled plasma #ICP) #E-mode #H-mode #Mode transition

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참고문헌 (6)

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/ 1992. / Electrical and magnetic pro- perties of materials : 82 ~ google schola / 1993. / Electrodeless lamps for lighting 140 (6) : 465 ~ google schola / 1998. / The electromagnetic basis of the transformer model for an inductively coupled RF plasma source 7 (2) : 179 ~ google schola / 2000. / Hysteresis and mode transition in a low-frequency induc- tively coupled plasma 18 (5) : 2185 ~ google schola / 2002. / Gas discharge and their appli- cations 57 (4) : 638 ~ google schola

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