메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류

추천
검색

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제18권 제8호
발행연도
2005.1
수록면
772 - 778 (7page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색

초록· 키워드

오류제보하기
In this paper, we designed the cylindrical type light source that had a electromagnetic principle of inductively coupled plasma, and measured its electrical-optical properties. Using the principle of transformer, electrically equivalent circuit of cylindrical type light source was analyzed. According to the parameters of electromagnetic induction which were diameter of coil with 0.3∼1.2 mmφ, number of turns with 4∼12 turns, distance with 40∼120 mm and RF power with 10∼150 W, the electrical and optical properties were measured. When diameter of coil was 0.3 mmφ, number of turns was 8 turns and distance was 40 mm, the highest brightness of 29,730 cd/m2 was shown with RF power 150 W. The relationship between electromagnetic induction and plasma discharges was shown by mode transition from E-mode to H-mode.

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (6)

참고문헌 신청

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0