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We studied on the design of electrical parameters for ICP(Inductively Coupled Plasma) light sources which can be effective to improve the electrical power efficiency of it. These parameters were derivated from Barkhausen theory about the oscillating condition of a ballaster. The relationships of f-I<SUB>p</SUB> and f-n were calculated theoretically and then these relationships were compared with the measured results about I<SUB>p</SUB> and power depending to a discharge length(ℓ) of ICP light source. Finally, we can see that a specific range of induced current depending to a discharge length would be necessary to minimize the change of magnetization inductance and driving frequency at driving.
목차
Abstract
1. 서론
2. 유도결합형 플라즈마 광원
3. 안정기 설계
4. 결론
참고문헌
저자소개
참고문헌 (17)
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1. [단행본] - Miroslav sedlaček / 1996 / Electron Physics of Vacuum and Gaseous Devices / JOHN WILEY & SONS, INC. : 386 ~ 408
2. [단행본] - Brian Chapman / 1980 / Glow Discharge Processessputtering and plasma etching / JOHN WILEY & SONS, INC. : 65 ~ 72
3. [단행본] - R. O. Dendy / 1990 / Plasma Dynamics / CLARENDON PRESS : 8 ~ 18
4. [단행본] - Herbert B. Callen / 1987 / Thermodynamics and an Introduction to Thermostatistics / John Wiley & Sons Inc. : 289 ~ 306
5. [단행본] - Federick Reif / 1987 / Fundamentals of Statistical and Thermal Physics / MacGRAW-HILL : 239 ~ 247
2. [단행본] - Brian Chapman / 1980 / Glow Discharge Processessputtering and plasma etching / JOHN WILEY & SONS, INC. : 65 ~ 72
3. [단행본] - R. O. Dendy / 1990 / Plasma Dynamics / CLARENDON PRESS : 8 ~ 18
4. [단행본] - Herbert B. Callen / 1987 / Thermodynamics and an Introduction to Thermostatistics / John Wiley & Sons Inc. : 289 ~ 306
5. [단행본] - Federick Reif / 1987 / Fundamentals of Statistical and Thermal Physics / MacGRAW-HILL : 239 ~ 247
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