지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 저널정보
- 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2009년도 9th International Meeting on Information Display
- 발행연도
- 2009.1
- 수록면
- 1,490 - 1,493 (4page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (2)
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
In this work we present a new type of line plasma source using an internal-type ICP operated at 2MHz with a ferrite module, describe the effect of ferrite module on the enhancement of the plasma properties and the uniformity, and compare to those obtained with 13.56MHz discharge. Also the electrical characteristics of the antenna line and the characteristics of the plasma uniformity were studied.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
13.56 MHz 유도 결합 플라즈마에서의 강자성체 페라이트 코어의 효과
반도체및디스플레이장비학회지
2005 .01
-
안테나에서 페라이트 위치 변화에 따른 전자계 시뮬레이션과 전기적ㆍ광학적 특성
전기학회논문지
2008 .05
-
13.56MHz 유도 결합 플라즈마에서의 강자성체 페라이트 코어의 효과
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2005 .01
-
Large Area Plasma Characteristics using Internal Linear ICP (Inductively Coupled Plasma) Source for the FPD processing
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2006 .01
-
($Ar+N_2$)분위기 중에 제작된 Fe-B-Si-N 합금 박막의 연자기적 성질
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
-
U Type Ferrite Core를 이용한 Inductive Coupled Plasma Source에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
-
Aspect Ratio 변화에 따른 Plasma Uniformity 변화
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .10
-
Plasma Properties of Dual-Frequency Inductively Coupled Plasma Source
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
-
Development of Internal linear Inductively Coupled Plasma Sources for Large Area Flat Penal Display Processing
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2007 .01
-
Simulation of Inductively Coupled $Ar/O_2$ Plasma; Effects of Operating Conditions on Plasma Properties and Uniformity of Atomic Oxygen
반도체및디스플레이장비학회지
2009 .01
-
Plasma Characteristics of (DF-ICP) Dual Frequency Inductively Coupled Pulsed Plasma Source
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
-
Characteristics of linearly Extended Inductively Coupled Plasmas with Magnetic Fields
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2002 .01
-
반도체 Ash 공정용 PWM 제어 Plasma 발생방법
전력전자학회 학술대회 논문집
2006 .06
-
Plasma Properties by Pulsed Inductively Coupled Plasma Source using Dual Frequency
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
-
My Experience with plasma Sources
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
-
Plasma Display
대한전자공학회 세미나
1996 .01
-
방전 플라스마에 의한 CFC-12($CCl_2F_2$)의 분해
한국안전학회지
1999 .01
-
전송선로를 이용한 플라즈마 전력 전달 연구
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
-
Core ICP에 의한 Edge Uniformity Control에 따른 고 균일도 Plasma Source에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
-
선형 유도결합 플라즈마 시스템에서 자장에 의한 플라즈마의 Confinement 효과에 관한 연구
한국표면공학회지
2006 .06
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0