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자료유형
학술저널
저자정보
탁성주 (고려대학교 신소재공학과) 강민구 (고려대학교 신소재공학과) 김동환 (고려대학교 신소재공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제16권 제7호
발행연도
2006.1
수록면
449 - 454 (6page)

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2006

태양전지용 ZnO:Al 투명전도막의 제작
탁성주 ,  강민구 ,  김동환 한국재료학회지 2006.01 학술저널

2005

태양전지용 ZnO:Al 투명 전도막 제작
탁성주 ,  강민구 ,  김동환 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2005.11 학술대회자료

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Al-doped zinc oxide (ZnO:Al) films for transparent electrodes in thin film solar cells were deposited on glass substrates at a low temperature of $200^{\circ}C$ by rf magnetron sputtering. The transmittance of the ZnO:Al films in the visible range was 87%. The lowest resistivity of the ZnO:Al films was about $5.8{\times}10^{-4}{\Omega}$ cm at the Al content of 2.5 wt%. After deposition, the surface of ZnO:Al films were etched in dilute HCl (0.5%) for the investigation of the change in the electrical properties and the surface morphology due to etching.
#Al-doped ZnO #rf magnetron sputter #TCO #surface textured

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