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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제17권 제8호
발행연도
2004.1
수록면
846 - 851 (6page)

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Transparent conducting indium tin oxide (TC-ITO) thin films on polymeric substrates have been deposited by a dc reactive magnetron sputtering without heat treatments. The polymeric substrates are acryl (AC), poly carbornate (PC), and polyethlene terephthalate (PET) as well as soda lime glass is also used to compare with the polymeric substrates. Sputtering parameters are an important factor for high quality of TC-ITO thin films prepared on polymeric substrates. Furthermore, the material, electrical and optical properties of as-deposited ITO films are dominated by the ratio of oxygen partial pressure. As the experimental results, the surface roughness of ITO films becomes rough as the oxygen partial pressure increases. The electrical resistivity of as-deposited ITO films decreases initially, and then increases with the increase of oxygen partial pressure. The optical transmittance at visible wavelength for all polymeric substrates is above 82 %.
#Indium tin oxide #Polymeric substrate #Oxygen partial pressure #Magnetron sputtering

목차

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참고문헌 (10)

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/ 1995. / Physics of very thin ITO con- ducting films with high transparency pre- pared by dc magnetron sputtering 270 : 37 ~ google schola / 1997. / Deposition of indium tin oxide films on polycarbonate substrates by radio-frequency magnetron sputtering 298 : 221 ~ google schola / 1997. / Electrical and optical properties of ITO thin films de- posited on unheated substrates by dc reac- tive sputtering 223 : 135 ~ google schola / 1997. / Mechanical pro- perties of rf magnetron sputtered indium tin oxide films 293 : 244 ~ google schola / 1998. / Techniques for the sputtering of optimum indium-tin-oxide films on to room-tem- perature substrates 99 : 214 ~ google schola

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