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이용수
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 요약
4. 참고문헌
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반응성 dc 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 ITO박막에 미치는 산소분압의 영향
한국표면공학회지
1998 .06
RF Sputtering에 의해 증착된 ITO 박막의 우선배향성 및 표면형상 조절 : 산소분압효과
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
스퍼터의 산소분압비율에 의존한 ITO/PET박막의 조절
한국표면공학회지
1999 .12
산소 분압에 따른 ITO 박막의 특성 변화에 대한 연구
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2010 .11
산소 가스 유량비 변화에 따른 ITO 박막의 전기적 특성에 관한 연구
한국표면공학회지
2007 .06
DC 마그네트론 스파터링법에 의한 ITO 박막재의 전기적 기계적 특성
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .03
반응성 마그네트론 프로세스에 의한 ITO박막 형성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1992 .07
인라인 스퍼터 시스템을 이용한 공정 압력의 변화에 따른 PC 기판상의 ITO 박막특성에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2009 .01
Reactive Sputtering 공법을 이용하여 제작된 ITO/Ag/ITO 다층박막의 전기적, 광학적 특성 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
Off-axis RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 저온에서 결정화된 ITO 박막의 특성
전기전자재료학회논문지
2011 .01
반응성 DC 스퍼터링 법에 의한 투명 Plastic 상의 ITO 박막제조
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
스퍼터 ITO박막의 제조 공정 이해 및 활용
한국표면공학회지
2017 .04
Properties of Ag/ITO film deposited using the DC magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
반응성 DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ITO 박막의 전기적 특성 평가
한국표면공학회지
2014 .12
고주파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작한 ITO 박막의 표면형태 및 전기적 특성
센서학회지
2006 .01
Properties of ITO (Indium Tin Oxide) Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering Using DC and Pulse Modes
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2002 .01
DC Sputtering 방법을 이용한 몰리브덴 박막의 특성
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
반응성 DC 스퍼터법으로 제조한 ITO 박막의 물성에 미치는 RF-bias의 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1999 .10
R.F Sputtering 법으로 제조된 ITO 박막의 미세구조가 전기ㆍ광학 특성에 미치는 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .10
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