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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제17권 제11호
발행연도
2004.1
수록면
1,252 - 1,257 (6page)

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This paper describes the information for quantitative simulation of weakly ionized plasma. In previous paper, we calculated the electron transport coefficients by using two-term approximation of Boltzmann equation. But there is difference between the result of the two-term approximation of the Boltzmann equation and experiments in pure CF4 molecular gas and in CF4+Ar gas mixture. Therefore, In this paper, we calculated the electron drift velocity (W) in pure CF4 molecular gas and CF4+Ar gas mixture (1 %, 5 %, 10 %) for range of E/N values from 0.17～300 Td at the temperature was 300 K and pressure was 1 Torr by multi-term approximation of the Boltzmann equation by Robson and Ness. The results of two-term and multi-term approximation of the Boltzmann equation have been compared with each other for a range of E/N.
#The two-term approximation of the Boltzmann equation #The multi-term approximation of the Boltzmann equation #E/N #W #Ar #CF4

목차

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참고문헌 (13)

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/ 1974. / 氣體放電 シミュレション 技法 google schola / 1980. / Matrix elements of the boltzmann collision operator in basis deter- mined by an anisotropic maxwelllian weight function including drift : 44968 ~ google schola / 1984. / The scattering of low-energy electrons by argon atoms : 4757 ~ google schola / 1986. / Velocity distribution and transport coefficients of electron swarms in gases : 2068 ~ google schola / 1988. / Electron motion in the gases CF4 38 : 58 ~ google schola

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