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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2007.10
- 수록면
- 1,782 - 1,785 (4page)
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In this paper, the effect of substrate temperature on structural, electrical and optical properties of aluminium-doped zinc oxide (AZO) films were investigated. AZO thin films were prepared on glass substrate by pulsed DC magnetron sputtering technique. The properties of AZO were measured by using XRD, AFM, UV spectrophotometer, and hall effect measurement system. The resistivity of AZO films was improved under the condition of high substrate temperature. The resistivity decreased from 9.95×10?² Ω-㎝ to 1.1×10?³ Ω-㎝ as a result of high substrate temperature and the average transmittances in visible range were above 80%.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
참고문헌
저자소개
참고문헌 (7)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - / 2002 / Effect of different dopant elements on the properties of ZnO thin films 64 : 281 ~ 285
2. [학술지(정기간행물)] - / 2004 / Transparent conductive Al and Mn doped ZnO thin films prepared by DC reactive magnetron sputtering 184 : 84 ~ 92
3. [학술지(정기간행물)] - / 2007 / Effects of substrate temperature on the properties of facing-target sputtered Al-doped ZnO films 91 : 659 ~ 663
4. [학술지(정기간행물)] - / 2003 / Effect of high substrate temperature on Al-doped ZnO thin films grown by pulsed laser deposition B103 : 9 ~ 15
5. [학술지(정기간행물)] - / 2000 / Deposition of ZnO thin films by RF magnetron sputtering and Cu-doping effects 49 (12) : 654 ~ 664
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