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Flat type catalytic combustible hydrogen sensors were fabricated using platinum micro-heaters and sensing material pastes. The platinum micro-heater was formed on an alumina substrate by sputtering method. The paste for the sensing materials was prepared using γ-Al2O3 30 wt%, SnO2 35 wt%, and Pd/Pt 30 wt% and coated on the platinum micro-heater. The sensing performances were tested for the prepared sensors with different substrate sizes. The micro catalytic combustible hydrogen sensors showed quick response time, high reliability, and good selectivity against various gases (CO, C3H8, CH4) at low operating temperature of 156℃.
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A. katsuki / 1998 / H2 selective gas sensor based on SnO2 / Sens. Actuators B 78 (1) : 83 ~ 88
G.K. Mor / 2004 / A room temperature TiO2-nanotube hydrogen sensorable to self clean photo activity from environmental contamination / J. Mater. Res. 19 (2) : 628 ~ 634
I.J. Kim / 2005 / Sensitivity enhancement for CO gas detection using a SnO2-CeO2-PdOX system / Sens. Actuators B 107 (2) : 825 ~ 830
J.G. Firth / 1973 / The principle of the detection of flammable atmospheres by catalytic devices / Combust. Flame 20 (3) : 303 ~ 311
M.G. Jones / 1989 / The detection of hydrogen using catalytic flammable gas sensors / Sens. Actuators B 16 (3) : 215 ~ 224
G.K. Mor / 2004 / A room temperature TiO2-nanotube hydrogen sensorable to self clean photo activity from environmental contamination / J. Mater. Res. 19 (2) : 628 ~ 634
I.J. Kim / 2005 / Sensitivity enhancement for CO gas detection using a SnO2-CeO2-PdOX system / Sens. Actuators B 107 (2) : 825 ~ 830
J.G. Firth / 1973 / The principle of the detection of flammable atmospheres by catalytic devices / Combust. Flame 20 (3) : 303 ~ 311
M.G. Jones / 1989 / The detection of hydrogen using catalytic flammable gas sensors / Sens. Actuators B 16 (3) : 215 ~ 224
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