수소가스 감지용 가연성 가스센서 제작을 위한 요소기술 개발

윤의중; 박형식; 이석태; 박노경

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자료유형: 학술저널

저자정보: 윤의중 박형식 이석태 박노경

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제20권 제3호

발행연도: 2007.1

수록면: 228 - 233 (6page)

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Core technologies for integrating hydrogen gas sensor were investigated. In this study, the thermally isolated micro-hot-plate with areas of 100×100-260×260 ㎛2 was fabricated by utilizing surface micromachining technique that provides better manufacturing yield than bulk micromachining counterpart. The optimum design of the sensor was performed by analyzing the thermal profile of the structure obtained from a ANSYS simulator. The 400-nm-thick polysilicon films doped with phosphorus, the 300-nm-thick aluminum films, and the 200-nm-thick SnO2(or ZnO)films were used as the micro-heater material, the temperature sensor material, and the gas sensitive material, respectively. The experimental results show that the developed gas sensors can detect H2 concentration as low as 1 ppm.

#Micro-heater #Micro hot-plate #Gas sensor #Micro electromechanical system #Diaphragm

참고문헌 (7)

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B. K. Miremadi / 1994 / Chronium oxide gas sensors for the detection of hydrogen, oxygen and nitrogen oxide / Sensors and Actuators B 21 (1) : 1 ~

J. Tamaki / 1998 / Dilute hydrogen sulfide sensing properties of CuO-SnO2 thin film prepared by low- pressure evaporation method / Sensors and Actuators B 49 : 121 ~

K. D. Mitzner / 2003 / Development of a micromachined hazardous gas sensor array / Sensors and Actuators B 93 : 92 ~

R. K. Sharma / 2001 / Sensitive, selective and stable tin dioxide thin-films for carbon monoxide and hydrogen sensing in integrated gas sensor array applications / Sensors an

S. Wolf / 1986 / Silicon Pro- cessing For The VLSI Era-Vol.1 / Lattice press : 344 ~

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