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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2006.6
- 수록면
- 531 - 537 (7page)
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A lever type NO₂ micro gas sensor was fabricated by MEMS technology. In order to heat up the gas sensing material to a target temperature, a micro heater was built on the gas sensor. The sensing material laid on the heater and electrodes and did not contact with the silicon base to minimize the heat loss to the silicon base. The electric power to heat up the gas sensor to a target temperature was measured. The temperature distribution of micro gas sensor was analyzed by a CFD program. The predicted electric power of micro heater to heat up the sensing material to the target temperature showed a good agreement with the measured data. The design of micro gas sensor could be modified to show more uniform temperature distribution and to consume less electric power by optimizing the layout of micro heater and electrodes.
목차
Abstract
1. 서론
2. 가스센서 제작 및 측정
3. 가스센서의 열전달 해석
4. 결론
참고문헌
참고문헌 (11)
참고문헌 신청
Miura, N., Honishi, H., Matsumoto, T. and Ippomatsu, M., 1993, "Development of Highperformance Solid-electrolyte Sensors for NO and NO2," Sensors and Actuators B, Vol. 13~14, pp. 387~390.
Sayago, I., Gutierre, J., Ares, L., Robla, J. I., Horrillo, M. C., Getino, J., Rino, J. and Agapito, J. A., 1995, "The Effect of Additive in Tin Oxide on the Sensitivity and Selectivity to NOx and CO," Sensors and Actuators B, Vol. 26~27, pp. 19~23.
Wollenstein, J.,. Plaza, J. A., Cane, C., Min, Y., Bottner, H. and Tuller, H. L., 2003, "A Novel Single Chip Thin Film Metal Oxide Array," Sensors and Actuators B, Vol. 93, pp. 350~355.
Cantalini, C., Valentini, L., Lozzi, L., Armentano, I., Kenny, J. M. and Santucci, S., 2003, "NO2 Gas Sensitivity of Carbon Nanotubes Obtained by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition," Sensors and Actuators B, Vol. 93, pp. 333~337.
Bechtold, T., Hildenbrand, J., Wollenstein, J., and Korvink, J.G., 2004, "Model Order Reduction of 3D Electro-thermal Model for a Novel Micromachined Hotplate Gas Sensor," 5th Int. Conf. on Thermal and Mechanical Simulation and Experiments in Micro-electr
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Wollenstein, J.,. Plaza, J. A., Cane, C., Min, Y., Bottner, H. and Tuller, H. L., 2003, "A Novel Single Chip Thin Film Metal Oxide Array," Sensors and Actuators B, Vol. 93, pp. 350~355.
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