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Planar type micro catalytic combustible gas sensor was developed by using nano crystalline SnO2. Pt thin film as micro
heater was deposited by thermal evaporation method on the alumina substrate. The thickness of the Pt heater was around
160 nm. The sensor showed high reliability with prominent selectivity against various gases(CO, C3H8, CH4) at low
operating temperature(156 oC). The sensor with nano crystalline SnO2 showed higher sensitivity than that without nano
crystalline SnO2. This can be explained by more active adsorption and oxidation of hydrogen by nano crystalline SnO2
particles. The present planar-type catalytic combustible hydrogen sensor with nano crystalline SnO2 is a good candidate
for detection of hydrogen leaks.
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A. Katsuki / 2001 / H₂ selective gas sensorbased on SnO₂ / Sens. Actuators B 78 : 83 ~ 88
G.K. Mor / 2004 / A room temperature TiO₂-nanotube hydrogen sensor able to self clean photo activity from environmental contamination / J. Mater. Res 19 (2) : 628 ~ 634
I. J. Kim / 2005 / Sensitivity enhancement for CO gas detection using a SnO₂-CeO₂-PdOx system / Sens. Actuators B 107 : 825 ~ 830
J.G. Firth / 1973 / Principle of the detection of flammable atmospheres by catalytic devices / Combust. Flame 21 : 303 ~ 311
M.G. Jones / 1989 / The detection of hydrogen using catalytic flammable gas sensors / Sens. Actuators 16 : 215 ~ 224
G.K. Mor / 2004 / A room temperature TiO₂-nanotube hydrogen sensor able to self clean photo activity from environmental contamination / J. Mater. Res 19 (2) : 628 ~ 634
I. J. Kim / 2005 / Sensitivity enhancement for CO gas detection using a SnO₂-CeO₂-PdOx system / Sens. Actuators B 107 : 825 ~ 830
J.G. Firth / 1973 / Principle of the detection of flammable atmospheres by catalytic devices / Combust. Flame 21 : 303 ~ 311
M.G. Jones / 1989 / The detection of hydrogen using catalytic flammable gas sensors / Sens. Actuators 16 : 215 ~ 224
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