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이용수
Abstract
1. Introduction
2. Fabrication Process and Measurement
3. Heat Transfer Simulation
4. Comparison of Electric Power Consumption
5. Conclusions
Acknowledgements
References
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Micro-Gas Sensor
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
Suspended-Type Micro Gas Sensor
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
마이크로 가스센서의 열적 성능에 관한 연구
대한기계학회 논문집 B권
2006 .06
NO₂ 마이크로 가스센서의 열적성능에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2005 .11
마이크로 핫플레이트를 갖는 마이크로 가스센서의 열적성능에 관한 연구
전기학회논문지 C
2006 .05
마이크로 플랫폼 상에 나노 감지 재료를 이용한 저전력 NOX 센서의 설계 및 제조
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2007 .01
Characteristics of Fabricated Micro Gas Sensor to Volatile Organic Compounds (VOCs)
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2012 .10
Fabrication and Characteristics of Micro-Electro-Mechanical-System-Based Gas Flow Sensor
센서학회지
2011 .01
CO gas 검지용 ZnO/PdClZ계 가스센서의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1990 .11
Micromachining 기술을 이용한 micro mass flow sensor의 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
1987 .07
Micromachining 기술을 이용한 micro mass flow sensor의 제작 ( The Fabrication of Micro Mass Flow Sensor by Micro-machining Technology )
대한전자공학회 학술대회
1987 .07
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2015 .01
Heat Transfer Simulation for NO₂ Micro Gas Sensor Fabricated by MEMS Technology
ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications
2004 .07
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2002 .01
산화질소 검출용 마이크로 가스센서 제조공정
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2013 .01
마이크로 가스센서의 저전력 구동을 위한 마이크로 플랫폼의 제작과 특성
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2011 .01
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센서학회지
2014 .01
위상변화를 이용한 표면탄성파 가스센서
센서학회지
2005 .01
마이크로 가스센서를 이용한 H₂ 가스 감지특성에 관한 연구
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2005 .07
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