지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
오류제보하기
This paper describes the fabrication and characteristics of micro heaters built on AlN(0.1 μm)/3C-SiC(1 μm) suspended membranes by surface micromachining technology. In this work, 3C-SiC and AlN films are used for high temperature environments. Pt thin film was used as micro heaters and temperature sensor materials. The resistance of temperature sensor and the power consumption of micro heaters were measured and calculated. The heater is designed for operating temperature up to about 800 ℃ and can be operated at about 500 ℃ with a power of 312 mW. The thermal coefficient
of the resistance(TCR) of fabricated Pt resistance of temperature detector(RTD)'s is 3174.64 ppm/℃. A thermal distribution measured by IR thermovision is uniform on the membrane surface.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (7)
참고문헌 신청
F. Solzbacher / 2000 / A modular system of SiC-based microhotplates for the application in metal oxide gas sensors / Sen. Actu. B 64 : 95 ~ 101
G. S. Chung / 2004 / Fabrication and characterization of micro-heaters with low-power consumption using SOI membrane and trench structures / Sen. Actu. A 112 : 55 ~ 60
G. Wiche / 2005 / Thermal analysis of silicon carbide based microhotplates for metal oxide gas sensors / Sen. Actu. A 123 : 12 ~ 17
J. C. Lee / 2006 / Electrical, thermal, and mechanical characterization of silicon microcantilever heaters / J. Microelectromech. Syst 15 (6) : 1644 ~ 1655
W. C. Choi / 1998 / Thermal characteristics of microheater for gas sensors / J. Kor. Sensors. Soc 7 (5) : 57 ~ 63
G. S. Chung / 2004 / Fabrication and characterization of micro-heaters with low-power consumption using SOI membrane and trench structures / Sen. Actu. A 112 : 55 ~ 60
G. Wiche / 2005 / Thermal analysis of silicon carbide based microhotplates for metal oxide gas sensors / Sen. Actu. A 123 : 12 ~ 17
J. C. Lee / 2006 / Electrical, thermal, and mechanical characterization of silicon microcantilever heaters / J. Microelectromech. Syst 15 (6) : 1644 ~ 1655
W. C. Choi / 1998 / Thermal characteristics of microheater for gas sensors / J. Kor. Sensors. Soc 7 (5) : 57 ~ 63
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
3C-SiC 마이크로 히터의 제작과 그 특성
센서학회지
2009 .01
-
SiC 마이크로 히터가 내장된 극한 환경용 NO 센서의 제작과 특성
센서학회지
2010 .01
-
The Fabrication by using Surface MEMS of 3C-SiC Micro-heaters and RTD Sensors and their Resultant Properties
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2009 .01
-
SiC계 세라믹 발열체 경제성 평가
한국산학기술학회 학술대회논문집
2009 .05
-
다양한 형상을 갖는 마이크로 히터의 열특성에 관한 실험 및 전산해석적 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .11
-
적외선 패널히터의 온도분포 측정
대한기계학회 춘추학술대회
2004 .11
-
SiC계 세라믹 발열체의 최적 설계에 관한 연구
한국산학기술학회 논문지
2009 .07
-
마이크로 가스센서의 열적 성능에 관한 연구
대한기계학회 논문집 B권
2006 .06
-
NO₂ 마이크로 가스센서의 열적성능에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2005 .11
-
히터의 저항 변화를 이용한 온도 측정과 제어
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
-
고효율 세라믹 발열체 제작 및 특성 시험에 관한 연구
한국산학기술학회 논문지
2012 .03
-
카본 발열체의 온도 및 전기적 특성에 관한 연구
동력시스템공학회지
2006 .02
-
Pre-processing for the Design of Micro-fluid Flow Sensing Elements
KTS International Journal
2006 .06
-
Design, Simulation, and Optimization of a Meander Micro Hotplate for Gas Sensors
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2016 .01
-
고온 공기 가열기 개발 현황 조사 및 고찰
한국추진공학회 학술대회논문집
2016 .05
-
다결정 실리콘 카바이드를 이용한 마이크로 유량센서
센서학회지
2009 .01
-
실시간 제어기를 이용한 마이크로 열식 질량공기 유량센서의 열특성 측정
대한기계학회 논문집 B권
2009 .08
-
SiC/SiC 복합재료의 제조 및 특성
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .02
-
나노면상발열체를 적용한 전기 히터봉 성능 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2012 .04
-
마이크로다공성 코팅된 발열체에서의 풀비등 직접냉각 성능에 관한 실험적 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2004 .11
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0