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학술저널
저자정보
임효재 (호서대학교 기계공학) 차옥환 (호서대학교 반도체제조장비국산화연구센터) 설용태 (호서대학교 전기공학)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제3권 제2호
발행연도
2004.1
수록면
1 - 4 (4page)

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An experimental study was conducted on the optimal configuration and size of ADFL(Aerodynamic Focusing Lens) which used in modified ISPM(In-Situ Particle Monitoring). The particle counting efficiency has been known as a function of distance and size of ADFL, thus we varied these parameters to find out the optimum values. From a result of experiment, it was found that two lenses and 6mm space between them showed a maximum particle measuring efficiency. To apply this modified ISPM to semiconductor manufacturing field, we need more experiment about the pressure change, flow rate, and input particle size.
#In-Situ Particle Monitoring #ISPM) #Aerodynamic Focusing Lens #ADFL) #Thin Plate Orifice #Sensing Volume

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