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학술저널
저자정보
안강호 (한양대학교 기계공학과) 김용민 (현대교정인증기술원 R&D center) 권용택 (현대교정인증기술원 R&D center)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제5권 제1호
발행연도
2006.1
수록면
45 - 49 (5page)

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In this paper, a new method that monitors the quantity of particles using ion-counter in vacuum environment is introduced. In-situ particle monitoring (ISPM) system is composed by Gerdien type ion-counter (house-made), DC power supply and electrometer. The ion-counter applied by positive voltage detects only positive charged particles. Therefore the particles to be detected should be in known charge state for further data analysis. ion-counter is installed at the exhaust line of process equipment where the pressure loss is structurally low. ISPM system performance has been verified with SMPS (Scanning Mobility Particle Sizer) system. The correlation coefficient is above 0.98 at the particle size range of $20{\sim}300nm$ in diameter with identified charge distribution under $0.1{\sim}10.0$ Torr.
#in-situ particle monitoring #ion-counter #soft x-ray #vacuum system

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