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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제14권 제2호
발행연도
2007.1
수록면
9 - 16 (8page)

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Thermoelectric properties of the electrodeposited Bi-Te films and photoresist process have been investigated to apply for thermoelectric thin film devices. After plating in Bi-Te solutions of 20 mM concentration, which were prepared by dissolving Bi2O3 and TeO2 into 1M HNO3, thermoelectric properties of the films were characterized with variation of the Te/(Bi+Te) ratio in a plating solution. With increasing the Te/(Bi+Te) ratio in the plating solution from 0.5 to 0.65, Seebeck coefficient of Bi-Te films changed from -59mV/K to -48mV/K and electrical resistivity was lowered from 1 mW-cm to 0.8 mW-cm due to the increase in the electron concentration. Maximum power factor of 3.5´10-4 W/K2-m was obtained for the Bi-Te film with the Bi2Te3 stoichiometric composition. Using multilayer overhang process, the photoresist pattern to form thermoelectric legs of 30 m depth and 100m diameter was successfully fabricated for micro thermoelectric device applications.
#Power factor1. 서?론재료 양단의 온도차에 의하여 전압이 발생하는 Seebeck 효과와 재료 양단간에 전류를 통하면 한쪽이 발열하고 다른 쪽이 흡열하는 Peltier 효과를 나타내는 열전재료는 에너지 직접변환이 가능한 재료로서 전자냉각이나 열전발전 분야에 응용하기 위하여 많은 연구가 진행되어 왔다1-8). 열전재료의 에너지 변환효율은 See #Thermoelectrics #Thin film #Electroplating #Bi2Te3

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/ 1968 / The powder metallurgy of n-type Bi2Te2 : 45 ~ google schola / 1972 / alloys for Peltier cooling-a review google schola / 1988 / Thermal properties of high quality single crystals of bismuth telluride- Part I google schola / 1990 / Orientation analysis of the anisotropic galvanomagnetism of sintered Bi2Te3 google schola / 1991 / Design and engineering of thermoelectric cooling devices google schola

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