환원분위기 열처리가 (Bi,Sb)2Te3 증착박막의 열전특성에 미치는 영향

김민영; 오태성

추천

검색

자료유형: 학술저널

저자정보: 김민영 오태성

저널정보: 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제15권 제3호

발행연도: 2008.1

수록면: 1 - 8 (8page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

환원분위기 열처리가 진공증착법으로 형성한 (Bi,Sb)2Te3 박막의 열전특성에 미치는 영향을 연구하였다. 환원분위기(50% H2 + 50% Ar)에서 300oC의 온도로 2시간 유지하여 열처리함으로써 (Bi,Sb)2Te3 박막의 결정성이 크게 향상되었으며 결정립 크기가 크게 증가하였다. 환원분위기 열처리에 의한 정공농도의 감소에 기인하여 (Bi,Sb)2Te3 박막의 Seebeck 계수가 열처리 전의 ~90 μV/K로부터 ~180 μV/K 으로 증가하였다. 환원분위기 열처리에 의해 (Bi,Sb)2Te3 박막의 출력인자(power factor)가 5배에서 16배 정도 향상되었으며, 환원분위기 열처리 후 (Bi,Sb)2Te3 박막은 18.6×10-4 W/K2-m의 최대 출력인자를 나타내었다.

#thermoelectrics #thin films #evaporation #annealing #power factor

참고문헌 (17)

참고문헌 신청

A. Munoz / 1998 / PbSe photodetector arrays for IR sensors / Thin Solid Films 317 : 425 ~

A. Mzerd / 1995 / Improvement of thermal sensor based on Bi2Te3, Sb2Te3, and Bi0.1Sb1.9Te3 / Sensors and Actuators A46 : 387 ~

B. Liautard / 1996 / Comparative studies between the growth characteristics of Bi2Te3 thin films deposited on SiO2, Si(100) and Si(111) / J. Crystal Growth 167 : 122 ~

J. H. Kim / 2006 / Structural characteristics of Bi2Te3 and Sb2Te3 films on (001) GaAs substrates grown by MOCVD / 25th Int. Conf. on Thermoelectrics : 411 ~

J. Horak / 1986 / Energy formation of antisite defects in doped Sb2Te3 and Bi2Te3 crystals / J. Phys. Chem. Solids 47 : 805 ~

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

김민영

소속기관 한국마이크로전자및패키징학회

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 1 이용수 2

오태성

소속기관

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 60 이용수 292

최근 본 자료

전체보기

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (17)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

댓글(0)