메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제14권 제1호
발행연도
2007.1
수록면
61 - 68 (8page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색

초록· 키워드

오류제보하기
임베디드 PCB 기판내 유전체 재료인 Atomic Layer Deposition(ALD) Al2O3박막과 전극재료인 스퍼터 증착된 Cu박막 사이의 계면접착력을 90o peel test방법으로 측정하여 순수 빔 굽힘을 가정한 에너지 평형 해석을 통하여 계면파괴에너지를 구하였다. Cu/Al2O3의 계면파괴에너지(Γ)는 매우 약하여 측정할 수 없었으나, 접착력 향상층 Cr박막을 삽입하여 Cr/Al2O3의 계면파괴에너지는 10.8±5.5 g/㎜를 얻었다. Al2O3 표면에 0.123 W/㎠ 의 power density로 2분간 Ar+ RF 플라즈마 전처리를 하고 Cr박막을 삽입한 Cr/Al2O3 계면파괴에너지는 39.8±3.2 g/㎜으로 매우 크게 증가하였는데, 이는 Ar+ RF 플라즈마 전처리에 따른 mechanical interlocking 효과와 Cr-O 화학결합 효과가 동시에 기여한 것으로 생각된다.
#Adhesion #Peel test #RF Plasma #Thin film #Embedded PCB

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (16)

참고문헌 신청
/ 1978 / Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy google schola / 1988 / Elastoplastic analysis of the peel test International Journal of Solids and Structures : 417 ~ 435 google schola / 1988/1989 / CRC handbook of chemistry and physics google schola / 1990 / Properties of aluminium oxide films prepared by plasma-enhanced metal-organic chemical vapour deposition google schola / 1997 / XPS and AES Studies of the Cr/Al2O3 interface 159 (Issue 2) : 425 ~ 437 google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0