Distributed Bragg Reflector, Microcavity 구조를 갖는 다공질규소의 반사율 스  펙트럼

김영유; 김한중

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김영유 김한중

저널정보: 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제19권 제6호

발행연도: 2009.1

수록면: 293 - 297 (5page)

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본 연구에서는 p형 단결정 규소 기판을 에칭시켜 다층구조를 갖는 DBR 및 Microcavity 다공질규소를 제작하고, 그 반사율 스펙트럼을 조사하였다. 그 결과 다층구조를 갖는 다공질규소의 반사율 스펙트럼에서 프린지 패턴의 수는 단일 층 다공질규소의 경우보다 상대적으로 많았으며, 특정 파장에서 반사율은 90 % 이상으로 나타났다. 그리고 DBR 다공질규 소에서 최대 반사율 봉우리의 FWHM 값은 33 nm로 매우 좁게 나타났다.

#Porous silicon #Single layer #Multilayer #DBR #Microcavity #Reflectance spectrum

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C. Barratto / 2002 / Multiparametric porous silicon sensors / Sensors 2 : 121 ~

C.S. Solanki / 2004 / Porous silicon layer transfer processes for solar cells / Solar Energy Materials and Solar Cells 83 : 101 ~

H. Fll / 2002 / Formation and application of porous silicon / Materials Science and Engineering R39 : 93 ~

I. Ferreira / 2004 / Ethanol vapour detector based in porous a-Si:H films produced by FW-CVD technique / Sensors and Actuators B100 : 236 ~

K.D. Hirschaman / 1996 / Silicon-based light-emitting devices integrated into microelectronic circuits / Nature 384 : 338 ~

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