고효율 실리콘 태양전지를 위한 lotus surface 구조의 형성

정철호; 백용균; 김효한; 음정현; 최균; 김형태; 장효식

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자료유형: 학술저널

저자정보: 정철호 백용균 김효한 음정현 최균 김형태 장효식

저널정보: 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제20권 제1호

발행연도: 2010.1

수록면: 7 - 11 (5page)

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단결정 실리콘 태양전지의 광학적 손실을 감소시키는 표면 텍스쳐링은 최종 셀의 효율을 향상시키기 위하여 매우 중요하다. 본 연구에서는 2-step texturing의 공정으로 기존의 텍스쳐링에서 이루어진 피라미드에 수 많은 sub-micrometer 사이즈의 구조를 형성시켰다. AgNO3 용액으로 웨이퍼 표면에 Ag코팅을 한 후, 그 웨이퍼를 다시 HF/H2O2 용액으로 수십초 동안 식각을 거치게 된다. 결과적으로, 피라미드 위에 생성된 수 nm사이즈의 구조물들은 AgNO3의 농도 및 식각 시간의변화에 의해 그 크기와 굵기가 변화하는 것을 알 수 있었다. 웨이퍼의 표면이 2-step texturing에 의해 식각이 이루어지면연잎의 거친 표면과 비슷해지고, 그 결과 평균 10 % 이상의 반사율을 보이던 기존 웨이퍼에서 3 % 이하의 낮은 반사율을얻을 수 있었다. 이는 일반적인 텍스쳐링과 anti-reflection coating을 거친 웨이퍼의 반사율보다 낮은 결과이다.

#Texturing #Lotus surface #Electroless deposition #Solar cell #Nano-texturing #Anisotropic etching #Monocrystalline silicon wafe

참고문헌 (6)

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C. Chartier / 2008 / Metalassisted chemical etching of silicon in HF-H2O2 / Electrochim. Acta. 53 : 5509 ~

H. Saha / 1992 / Influence of Surface Texturization on Light Trapping and Spectral Response of Silicon Solar Cells / IEEE Trans. Electron Devices 39 : 1100 ~

J.S. Jeon / 1996 / Electrochemical investigation of copper contamination on silicon wafers from HF solutions / J. Electrochem. Soc. 143 : 2870 ~

L. Maganin / 2002 / Gold deposition by galvanic displacement on semiconductor surface: Effect of substrate on adhesion / J. Phys. Chem. B106 : 401 ~

L.A. Porter, Jr. / 2002 / Controlled elecroless deposition of noble metal nanoparticle films on germanium surfaces / Nano Lett. 2 : 1067 ~

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