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In this study, we synthesized ATO films using RF magnetron sputtering method consisted of SnO₂target added Sb of 6 wt% and investigated the effect of O₂on structural, electrical, and optical properties of ATO films. As a result, in case of O₂/Ar ratio of 0.11, we obtained ATO films exhibit the properties such as the resistivity about 8 × 10-³ [Ω-cm], the
transmittance of 85.17 %, and retile structure.
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A. Chaturvedi / 2000 / R. Dwivedi / Microelectron. J 31 : 283 ~
C.A. Vincent / 1972 / The nature of semiconductivity in polycrystalline tin oxide / J. Electrochem. Soc 119 : 515 ~
C.M. Lampert / 1981 / Heat mirror coating for energy conserving window / Solar Energy Mater 6 : 1 ~
K. Suzuki / 1982 / Structural, electrical and optical properties of r.f.-magnetron-sputtered SnO2 : Sb film / Thin Solid Films 97 : 119 ~
N.S. Murty / 1983 / Characterization of antimony-doped tin oxide films for solar cell applications / Thin Solid Films 108 : 277 ~
C.A. Vincent / 1972 / The nature of semiconductivity in polycrystalline tin oxide / J. Electrochem. Soc 119 : 515 ~
C.M. Lampert / 1981 / Heat mirror coating for energy conserving window / Solar Energy Mater 6 : 1 ~
K. Suzuki / 1982 / Structural, electrical and optical properties of r.f.-magnetron-sputtered SnO2 : Sb film / Thin Solid Films 97 : 119 ~
N.S. Murty / 1983 / Characterization of antimony-doped tin oxide films for solar cell applications / Thin Solid Films 108 : 277 ~
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