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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.1
- 수록면
- 19 - 24 (6page)
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산소 플라즈마 전처리에 의한 PET 기판 위에 Ga이 도핑된 ZnO 투명전극 (GZO)의 특성변화를 고찰하였다.
GZO 박막은 RF 마그네트론 스퍼터링 공정에 의해 합성하였으며 GZO 증착 이전에 PET 기판의 표면에너지를 높이고GZO 박막과의 접촉특성을 향상시키기 위해 산소플라즈마 공정을 적용하였다. 산소 플라즈마 처리공정을 시행함에 따라GZO 박막의 결정성과 전기적 특성이 향상하였다. RF 파워를 100 W로 하고, 플라즈마 처리시간을 600초로 하였을 때GZO 박막의 최저 비저항 값인 1.90×10-3 Ω-cm의 양호한 특성을 확인되었다.
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A. N. Banerjee / 2006 / Lowtemperature deposition of ZnO thin films on PET and glass substrates by DC-sputtering technique / Thin Solid Films 496 : 112 ~
B. D. Ahn / 2009 / Effect of oxygen pressure of SiOx buffer layer on the electrical properties of GZO film deposited on PET substrate / Thin Solid Films 517 : 6414 ~
E. Fortunato / 2003 / Growth of ZnO:Ga thin films at room temperature on polymeric substrates: thickness dependence / Thin Solid Films 442 : 121 ~
G. J. Exarhos / 2007 / Discovery-based design of transparent conducting oxide films / Thin Solid Films 515 : 7025 ~ 7052
Su-Cheol Gong / 2009 / Dependence of O2 Plasma Treatment of Cross-Linked PVP Insulator on the Electrical Properties of Organic-Inorganic Thin Film Transistors with ZnO Channe
B. D. Ahn / 2009 / Effect of oxygen pressure of SiOx buffer layer on the electrical properties of GZO film deposited on PET substrate / Thin Solid Films 517 : 6414 ~
E. Fortunato / 2003 / Growth of ZnO:Ga thin films at room temperature on polymeric substrates: thickness dependence / Thin Solid Films 442 : 121 ~
G. J. Exarhos / 2007 / Discovery-based design of transparent conducting oxide films / Thin Solid Films 515 : 7025 ~ 7052
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