RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 PET 기판 위에 증착된 ITO 박막의 특성에대한 산소 분압의 영향

김선태; 김태규; 조현; 김진곤

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김선태 김태규 조현 김진곤

저널정보: 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제24권 제6호

발행연도: 2014.1

수록면: 252 - 255 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2015

PET 기판 위에 성장된 ITO 박막의 증착조건에 따른 특성연구

김선태 2015.01 학위논문

2014

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 PET 기판 위에 증착된 ITO 박막의 특성에대한 산소 분압의 영향

김선태 , 김태규 , 조현 외 1명 한국결정성장학회지 2014.01 학술저널

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ITO(indium tin oxide) 박막을 RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 산소 분압을 0에서 6 × 10−5Pa로 변화시킨 조건 하에서 PET 기판 위에 증착하였고, 산소 분압에 따른 ITO 박막의 전기적, 광학적 특성과 결정성의 변화를 조사하였다. 산소 분압이 1 × 10−5Pa 이하에서는 증착된 ITO 박막은 비정질 구조를 가지는 반면에 2 × 10−5Pa 이상에서는 결정질임을확인하였다. 이러한 구조적 변화와 더불어 전하 캐리어 농도와 비저항이 증가하였다. 산소 분압이 4 × 10−5Pa에서 최소 비저항(9.8 × 10−4Ω · cm)을 얻을 수 있었다. ITO/PET 박막의 광투과율도 산소 분압이 증가함에 따라 증가하였으며 산소 분압 4 × 10−5Pa에서 80 % 이상을 나타내었다. 본 연구를 통하여 최적의 산소 분압 선정이 ITO 박막의 결정성 향상, 캐리어밀도 향상 그리고 전기전도도 향상 효과를 나타냄을 확인하였다.

#Indium tin oxide #ITO) #PET substrate #Resistivity #Optical transmittance

참고문헌 (12)

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B.H. Lee / 1997 / Effect ofprocess parameters on the characteristics of indium tinoxide thin film for flat panel display application / ThinSolid Films 302 : 25 ~

D.C. Paine / 1999 / A study of low temperature crystallizationof amorphous thin film indium-tin-oxide / Appl. Phys 85 : 8445 ~

D.H. Kim / 2006 / Thicknessdependence of electrical properties of ITO filmdeposited on a plastic substrate by RF magnetron sputtering / Appl. Surf. Sci 253 : 609 ~

G.B. Gonzalez / 2004 / Defect structure studies of bulk and nanoindium-tin oxide / J. Appl. Phys 96 : 3912 ~

I. Hamberg / 1986 / Evaporated sndopedIn2O3 films: Basic optical properties and applications toenergy efficient windows / J. Appl. Phys 60 : R123 ~

이 논문의 저자 정보

김선태

소속기관 한국결정성장학회

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 1 이용수 25

김태규

소속기관 부산대학교

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 5 이용수 55

조현

소속기관 부산대학교

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 32 이용수 241

김진곤

소속기관 부산대학교

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 12 이용수 118

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