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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제23권 제5호
발행연도
2013.1
수록면
224 - 229 (6page)

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Vanadium oxide thin films were deposited on c-Al2O3 (001) substrate by in-situ RF magnetron sputtering. Oxygen partial pressure was adjusted to prepare thermochromic VO2 phase. X-ray diffraction patterns and scanning electron microscopy convincingly showed that plate-like V2O5 grains were changed into round-shape VO2 grains as oxygen partial pressure decreased. After the optimized deposition conditions were fixed, the effect of substrate temperature and orientation on the optical properties of VO2 thin films was analyzed.

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