Top emission 유기발광소자 적용을 위한 도핑된 indium tin oxide 박막의 전기  적 광학적 특성 연구

정철호; 강용규; 윤대호

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자료유형: 학술저널

저자정보: 정철호 강용규 윤대호

저널정보: 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제18권 제4호

발행연도: 2008.1

수록면: 160 - 164 (5page)

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절연성 및 전도성 12CaO·7Al2O3 (C12A7)이 도핑된 ITO 박막을 유리기판 위에 radio frequency(rf) magnetron 스퍼터링 방법으로 절연성 및 전도성 C12A7 타겟 칩의 개수를 변화시키면서 증착하였다. 이러한 박막들의 구조적, 전기적, 광학적 특성을 살펴보았다. C12A7 타겟 칩의 개수가 증가함에 따라 박막의 캐리어 농도는 감소하고, 비저항은 증가하였다. 박막의 광 투과도는 가시광 영역에서는 80 % 이상의 값으로 나타났다. Grain의 크기의 변화는 결정성과 표면 거칠기에 크게 영향을 미친다는 것이 확인되었다.

#12CaO·7Al2O3 #Top emission organic light emission devices #Indium tin oxide

참고문헌 (15)

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C.H. Jung / / 12CaO·7Al2O3 doped indium-tin-oxide thin film for transparent cathode in organic light-emitting devices / Surf. Coat. Technol

C.W. Tang / 1989 / Electroluminescence of doped organic thin films / J. Appl. Phys 65 : 3610 ~

G. Gu / 1996 / Transparent organic light emitting devices / Appl. Phys. Lett 68 : 2606 ~

H. Honoso / 1987 / Occurrence of superoxide radical ion in crystalline 12CaO·7Al2O3 prepared via solidstate reactions / Inorg. Chem 26 : 1192 ~

H. Suzuki / 1996 / Organic light-emitting diodes with radio frequency sputter-deposited electron injecting electrodes / Appl. Phys. Lett 68 : 2276 ~

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