SiO₂ CMP 에서 스프레이 슬러리 노즐 효과에 대한 연구

조호성; 정해도

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 조호성 (부산대학교) 정해도 (부산대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2020년도 통합학술대회 논문집

발행연도: 2020.9

수록면: 14 - 14 (1page)

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#Spray slurry nozzle #Temperature #Frictional force #SiO₂ #CMP

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조호성

소속기관 부산대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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