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이다솔 (D. S. Lee) 논문수  · 이용수 2,855

소속기관
건국대학교
소속부서
Department of Mechanical Engineering, Graduate School
주요 연구분야
공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%
연구경력
-
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저자의 연구 키워드

저자의 연구 키워드
#Aluminum (알루미늄)
#Atomization
#Centrifugal pump (원심 펌프)
#Ceria
#Ceria slurry
#Chelating agent (착화제)
#Chemical Mechanical Planarization
#Chemical mechanical planarization (화학 기계적 평탄화 공정)
#Chemical mechanical planarization (화학적 기계적 평탄화)
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#Chemical mechanical polishing (화학적 기계적 연마)
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#CMP(Chemical Mechanical Planarization)
#CMP(Chemical Mechanical Planarization)(화학적 기계적 평탄화)
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#Contact mode (접촉 모드)
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#Contact stress (접촉 응력)
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#Device pattern(디바이스 패턴)
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#Diluted Silica Slurry(DSS)
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#Distribution of asperity height (돌기 높이 분포)
#Dynamic material properties (동적 재료 물성)
#Electrochemical Analysis
#Electrochemical analysis (전기화학분석)
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#Finite element analysis (유한요소해석)
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#Mathematical modeling (수학적 모델링)
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#Mixed Abrasive Slurry(MAS)
#Modeling
#Modeling(모델링)
#Oxidizer (산화제)
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#Pad asperity (패드 돌기)
#Pad asperity(패드 돌기)
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#Pattern size (패턴 크기)
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#Planarization modeling (평탄화 모델링)
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#Polymer pressure sensor (고분자 압력 센서)
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#Slurry flow (슬러리 유동)
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#Spray slurry nozzle (스프레이 슬러리 노즐)
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#Viscoelasticity (점탄성)
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