스프레이 노즐의 슬러리 분사높이와 분사위치가 구리 CMP 에 미치는 영향

이다솔; 정해도; 이현섭; 정진엽; 정선호

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저자정보: 이다솔 (부산대학교) 정해도 (부산대학교) 이현섭 (동명대학교) 정진엽 (부산대학교) 정선호 (부산대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2016년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2016.5

수록면: 17 - 17 (1page)

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2019

구리 CMP 에서 슬러리 미세분사를 통한 디싱 결함 감소에 관한 연구

이다솔 , 이현섭 , 조호성 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019.10 학술대회자료

2016

스프레이 노즐의 슬러리 분사높이와 분사위치가 구리 CMP 에 미치는 영향

이다솔 , 정해도 , 이현섭 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2016.05 학술대회자료

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정해도

소속기관 부산대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 0.5% 공학 > 화학공학 > 고분자공학

논문수 329 이용수 23,075

이현섭

소속기관 동아대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 1%

논문수 139 이용수 7,463

정진엽

소속기관 부산대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 15 이용수 651

정선호

소속기관 부산대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 1%

논문수 65 이용수 4,815

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Effect of Brush Treatment and Brush Contact Sequence on Cross Contaminated Defects during CMP in-situ Cleaning

Hong Jin Kim Tribology and Lubricants 2015 .12

Influences of Polyurethane Nozzle Shape on Mixing Efficiency

김도연 , 이태경 , 정해도 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2016 .01

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