니켈 CMP 에서 화학첨가제의 영향에 관한 연구

정선호 ,  이다솔 ,  이종우 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구

김요한 ,  이창우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

Effect of Hydrogen Peroxide and Oxalic Acid on Material Removal in Al CMP

정진엽 ,  이현섭 ,  이다솔 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .05

고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구

서장원 ,  윤성훈 ,  정은선 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

신경망을 이용한 SiO₂ CMP의 재료제거율 예측

하인철 ,  김승우 ,  이승민 외 3명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2024 .10

CMP의 화학 기계적 균형

정해도

기계저널

2016 .07

Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP

In-Ho Pa ,  k ,  Da-Sol Lee 외 2명

한국기계가공학회지

2018 .12

사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구

이현섭 ,  이다솔

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

CMP 에서 패드의 미세돌기 분포가 연마율에 미치는 영향

김현진 ,  이기훈 ,  박병준 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

화학기계적 연마(CMP) 공정에서의 트라이볼로지 연구 동향

이현섭

Tribology and Lubricants

2018 .06

CMP 패드의 홈의 크기가 점탄성에 미치는 영향

정경우 ,  정선호 ,  이동환 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

착화제가 Cu CMP 에 미치는 영향

장수천 ,  정해도 ,  박인호

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

Table Unit 회전에 의한 CMP System 변형 해석

김요한 ,  이창우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .05

Advances in CMP Technology over the Next Decade

Hong Jin Kim

한국트라이볼로지학회 학술대회

2024 .10

CMP 후 세정에서 기능수의 효과

남유나 ,  Pengzhan Liu ,  김응철 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2021 .11

Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향

박인호 ,  이다솔 ,  이종우 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

초고압력 Head Unit 이 CMP 장비의 변형에 미치는 영향 분석

이창우 ,  김요한

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .05

LED 반사판용 알루미늄의 CMP에 관한 연구

정진엽 ,  정해도 ,  이현섭 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .05

니켈 전극을 이용한 전해 이온화 슬러리 CMP 특성 연구

이현섭 ,  조예진 ,  김용훈 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2022 .04

Surface Modified Silica Nanoparticles with Chelating Agents for CMP Applications

김민정 ,  김태동 ,  김윤 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2023 .04