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Effect of Hydrogen Peroxide and Oxalic Acid on Material Removal in Al CMP
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .05
알루미늄 CMP 에서 옥살산의 착화 효과
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
니켈 CMP 에서 툴마크 제거를 위한 화학첨가제에 따른 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
Colloidal Membranes of Virus-like Fluorinated Silica Nanoparticles for Oil-water Separations
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2021 .04
Common-path Optical Interferometry for On-site Measurement of CMP Pad Surface
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .05
착화제가 Cu CMP 에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
Advances in CMP Technology over the Next Decade
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
LiTaO₃ 기판 CMP 슬러리 내 킬레이트제에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
신경망을 이용한 SiO₂ CMP의 재료제거율 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
랩그라인딩 압력에 따른 CMP 공정 결과에 대한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
CMP 패드의 홈의 크기가 점탄성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
Silica sol as grouting material: a physio-chemical analysis
Nano Convergence
2018 .02
Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP
한국기계가공학회지
2018 .12
CMP 에서 패드의 미세돌기 분포가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
Design of Surface Modified Magnetic Nanoparticles for Biosensor Application
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2020 .10
LED 반사판용 알루미늄의 CMP에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .05
Table Unit 회전에 의한 CMP System 변형 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
Bioinspired synthesis of silica nanoparticles with hierarchical surface using engineered capsid protein
한국생물공학회 학술대회
2019 .04
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