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전해 이온화 슬러리를 이용한 CMP에서 전극 소재에 따른 마찰 특성
한국트라이볼로지학회 학술대회
2022 .04
니켈 CMP 에서 화학첨가제의 영향에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
CMP 공정에서 에너지 절감을 위한 전해 이온 슬러리 효과
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
구리 후막용 CMP 슬러리의 환경 영향 평가
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .10
다층구조의 CMP 슬러리 여과용 필터 제조 특성 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .12
슬러리와 산소 가스의 비율 조절을 통한 실시간 CMP 온도제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
전해이온화 슬러리 CMP 에서 과산수소 함량 변화에 따른 전기화학적 특성 분석
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .05
Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP
한국기계가공학회지
2018 .12
라만 분광법을 이용한 CMP 공정에서의 슬러리 성분 및 농도 분석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
CMP 공정을 위한 이온화된 슬러리에 의한 구리 막질의 산화거동에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
구리/폴리머의 CMP에서 슬러리 첨가제가 선택비에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
전기화학적 특성 분석을 이용한 스테인리스강의 유형에 따른 CMP 슬러리 조성 최적화
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .05
Effect of Slurry Flow in Spray Slurry Nozzle System on Cu CMP
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .02
슬러리 소비 감소를 위한 CMP 분위기 제어를 이용한 슬러리 미스트 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
CMP 공정에서 슬러리 분산 안정성 향상을 위한 첨가제 적용 및 최적화 연구
한국에너지기후변화학회 학술대회
2024 .11
전해 이온화와 자외선광을 이용한 사파이어 화학기계적 연마의 재료제거 효율 향상에 관한 기초 연구
Tribology and Lubricants
2021 .12
The improvement of tungsten CMP performance by controlling slurry temperature
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
SiO₂ CMP 에서 스프레이 슬러리 노즐 효과에 대한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
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