원자층 식각기술

염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Cryogenic Etching in Advanced Electronics Manufacturing: Applications and Challenges

Kyongnam Kim

Applied Science and Convergence Technology

2024 .09

Damage - Free Layer Control of MoS2 Using Atomic Layer Etching

지유진 ,  김기석 ,  김기현 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Atomic layer etching of SiO₂ with low-global warming potential C₄H₃F₇O isomers

Yongjae Kim ,  Yebin Lee ,  Seonghyeon Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

MoS2 layer etching using CF4 plasma and H2S plasma treatment

양경채 ,  박성우 ,  김경남 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Magnetic property of porous black phosphorene layer : electric field and edge passivation effect

A ,  qum Hashmi ,  M. Uma 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2016 .05

C₃F₆O 가스를 이용한 SiO₂에 대한 식각 특성 분석

김선웅 ,  양경채 ,  이호석 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Effective Passivation of Black Phosphorus under Ambient Conditions

윤종찬 ,  이종훈

한국현미경학회지

2017 .01

식각된 LED의 식각 깊이와 식각 각도가 광 추출 효율에 미치는 영향

권기영 ,  기장근

새물리

2020 .10

Applications of fluid based plasma simulation : dry etch

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

The Latest Surafce Analysis for the electronic device materials : Graphene and Phosphorene

이주한 ,  전철호 ,  이현욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Fabrication of two-terminal capacitor-less memory from thyristor structure with p-type etching stop layer

Jisoo Yoo ,  Gyujin Oh ,  Seung-Hyun Song 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Enhancement of Electrical Properties of GaN-based Devices by Atomic Layer Etching

김두산 ,  길유정 ,  장윤종 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Study of Photochemical Ozone Formation Mechanism in Mexico

Shinji Wakamatsu ,  Masahiko Saito ,  Isao Kanda

한국대기환경학회 학술대회논문집

2015 .11

Dopant에 따른 amorphous carbon layer의 etch rate 변화 분석연구

정원준 ,  김동빈 ,  박상현 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Anisotropic Atomic Layer Etching of W by Fluorination-Oxidation Cyclic Process

김두산 ,  김주은 ,  길유정 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Magnetic Properties and Hysteresis Loss Improvement of Fe Alloy Powder by NH₄OH Etching

Sunwoo Lee ,  Sungjoon Choi ,  Jae-Hyoung You 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2017 .05

다양한 etch gas를 이용한 자성 박막의 식각특성 분석

이호석 ,  양경채 ,  박성우 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Sub-10 nm 수직 배향 DSA etch profile 향상에 대한 연구

오지수 ,  김교운 ,  김희주 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

A study on the ion beam etching characteristics in the high aspect ratio contact

Ilhyeong LEE ,  Jongkyu KIM ,  Jongsoon PARK 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08