A study on the phenomenon of non uniformity at isolate pattern using ion beam etching

Jongsoon PARK ,  Jongkyu KIM ,  Sangkuk KIM 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Ion Beam Etching (IBE) system에서의 Radical 제어 연구

김두산 ,  김건우 ,  장윤종 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Atomic layer deposition of high-k dielectrics on graphene through controlled Ar⁺ Ion beam process

You Jin JI ,  Ki Seok KIM ,  Ki Hyun KIM 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Ion beam figuring with focused anode layer thruster

Oleksii Gi ,  ka ,  Soo Ouk Jang 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

High density micro ion beam by plasma ion source

Masaki SUGAWARA ,  Ha ,  uo KASAHARA 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Damage - Free Layer Control of MoS2 Using Atomic Layer Etching

지유진 ,  김기석 ,  김기현 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Study of ion beam shaping of an anode-type ion source coupled with a

Whenelt mask ,  Yunsung Huh ,  Yunseok Hwang 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2018 .07

Cryogenic Etching in Advanced Electronics Manufacturing: Applications and Challenges

Kyongnam Kim

Applied Science and Convergence Technology

2024 .09

Reactive Ion Beam Etching of CoFeB for Non-volatile Magnetic Random Access Memories

김두산 ,  김주은 ,  길유정 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

원자층 식각기술

염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

C₃F₆O 가스를 이용한 SiO₂에 대한 식각 특성 분석

김선웅 ,  양경채 ,  이호석 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Modification of electronic properties of graphene by using low-energy K⁺ ions

Jingul KIM ,  Paeng ,  o LEE 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Multi-crystalline Silicon Solar Cell with Reactive Ion Etching Texturization

Seok Gi Pa ,  k ,  Min Gu Kang 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Etch Characteristics of Magnetic Tunnel Junction Material using H₂/NH₃ Ion Beam

김예은 ,  김두산 ,  김주은 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Anisotropic Atomic Layer Etching of W by Fluorination-Oxidation Cyclic Process

김두산 ,  김주은 ,  길유정 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Atomic layer etching of SiO₂ with low-global warming potential C₄H₃F₇O isomers

Yongjae Kim ,  Yebin Lee ,  Seonghyeon Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

Contact block copolymer technique을 이용한 실리콘 나노-필라 구조체 제작방법

김두산 ,  김화성 ,  박진우 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Colorimetric dual sensor of Fe³⁺ and Hg²⁺ ions based on sequential detection by etching and aggregation of gold nanorods

Su-Jin Yoon ,  Yun-Sik Nam ,  Kang-Bong Lee

한국분석과학회 학술대회

2017 .11

Characterization of ultra sharp W tips for field emission electron beam by using etching solution NaOH and KOH

Bishwa Chand ,  a Adhika ,  i 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

식각된 LED의 식각 깊이와 식각 각도가 광 추출 효율에 미치는 영향

권기영 ,  기장근

새물리

2020 .10