Layer-by-layer Control of MoS2 Thickness by ALET

김기현 ,  김기석 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

MoS2 layer etching using CF4 plasma and H2S plasma treatment

양경채 ,  박성우 ,  김경남 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Machine Learning-Based Prediction of Atomic Layer Control for MoS² via Reactive Ion Etcher

Changmin Kim ,  Seunghwan Lee ,  Muyoung Kim 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2023 .09

Anisotropic Atomic Layer Etching of W by Fluorination-Oxidation Cyclic Process

김두산 ,  김주은 ,  길유정 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

원자층 식각기술

염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Atomic layer etching of SiO₂ with low-global warming potential C₄H₃F₇O isomers

Yongjae Kim ,  Yebin Lee ,  Seonghyeon Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

Enhancement of Electrical Properties of GaN-based Devices by Atomic Layer Etching

김두산 ,  길유정 ,  장윤종 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Atomic Layer Etching of Tungsten using NF₃/O₂ plasma

길유정 ,  김두산 ,  김주은 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

차세대 원자층 공정 제어기술 개발: 원자층 식각(ALE)

전민성

진공이야기

2023 .03

A study on the ion beam etching characteristics in the high aspect ratio contact

Ilhyeong LEE ,  Jongkyu KIM ,  Jongsoon PARK 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Atomic Layer Deposited Metal Thin Films on T-shirts

Han-Bo-Ram Lee

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

2차원 MoS₂ 물질 기반의 전자소자 연구

이탁희 ,  김태영 ,  조경준 외 1명

진공이야기

2016 .03

Atomic-layer superconductors

Shuji HASEGAWA

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Enhanced light extraction of OLEDs using a NiO_x layer

Wen-Tuan WU ,  Ching-Ming HSU ,  Wei-Ming LIN 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Ion Beam Etching (IBE) system에서의 Radical 제어 연구

김두산 ,  김건우 ,  장윤종 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Chronology of photoexcited carriers in atomic layers

Iwao Matsuda

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Ultrathin BP layer fabrication by photochemical etching

김정원

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Etching properties of titanium nitride thin films in a O₂/Cl₂/Ar plasma

Wang YIYU ,  Young-Hee JOO ,  Chang-Il KIM

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Ion beam figuring with focused anode layer thruster

Oleksii Gi ,  ka ,  Soo Ouk Jang 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

A study on the phenomenon of non uniformity at isolate pattern using ion beam etching

Jongsoon PARK ,  Jongkyu KIM ,  Sangkuk KIM 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08