원심펌프를 통한 Cu CMP 의 연마균일도 향상

이다솔; 정해도; 정선호; 정진엽

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이다솔 (부산대학교) 정해도 (부산대학교) 정선호 (부산대학교) 정진엽 (부산대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2016년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2016.10

수록면: 97 - 97 (1page)

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#Cu CMP #Slurry pump #Centrifugal pump #Uniformity

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정선호

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정진엽

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