Al₂O₃/HfO₂ Thin Film Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition for Quantum-Dot Light Emitting Diode Encapsulation

Lae Ho Kim ,  Yong Jin Jeong ,  Jisu Hong 외 4명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .10

Low Temperature HfO₂ Thin Film Encapsulation for Organic Light-Emitting Diodes Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

김래호 ,  장진혁 ,  박선욱 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2015 .10

Characteristics of Al₂O₃ thin films grown by using atomic layer deposition at low temperature

Suyeon Kim ,  Seung-Hun Lee ,  In Ho Jo 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaN_x 박막의 전기 전도도 조절

류성연 ,  최병준

한국재료학회지

2018 .01

The Moisture Barrier Film Using Thermal Epoxy Resin and Atomic Layer Deposition

김성희 ,  이준영 ,  최명수

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2020 .10

신규 Hf 전구체를 이용한 고온 ALD HfO₂ 박막의 불순물 특성 개선

최창익 ,  박재찬 ,  박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06

Effect of purge-time of the Atomic Layer Deposition process to the moisture barrier properties of Aluminum oxide thin films

Thu Nguyen ,  김성희 ,  이준영

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2018 .04

The Moisture Barrier Film Using Thermal Epoxy Resin and Atomic Layer Deposition (ALD)

김성희 ,  이준영

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2019 .10

유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구

전준혁 ,  윤성호 ,  이세준 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .07

Evaluating the Moisture-barrier Properties of Aluminum Oxide Thin Films Under Influence of Purging Step in Atomic Layer Deposition Techniques

Thu Nguyen ,  김재호 ,  김성희 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2018 .10

원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작

최윤성 ,  심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

Room Temperature Deposition of SiNx and Plasma Polymer Layers for Flexible Multilayer Barrier Films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes

용상현 ,  안형준 ,  김선정 외 5명

NANO

2018 .01

PEALD를 이용한 HfO2 유전박막의 Al 도핑 효과 연구

오민정 ,  송지나 ,  강슬기 외 2명

전기전자재료학회논문지

2023 .03

원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인

홍민표 ,  김경민 ,  송용남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

SiO₂ bottom-up trench fill of a high aspect ratio hole by plasma enhanced atomic layer deposition using a very high frequency plasmas and inhibitor surface treatment

안규환 ,  김호곤 ,  이용기 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06

저온 ALD/MLD 를 이용한 유기-무기 하이브리드 기체 투과 방지막 특성 연구

김소정 ,  김천중 ,  정낙관

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

Improved Film properties of Al₂O₃ Film Deposition on Graphene substrates deposited by UV-assisted Atomic Layer Deposition

Geonwoo Pa ,  k ,  Jeong Woo Shin 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

플라즈마 원자층 증착을 이용한 TiO₂ thin film 굴절율 최적화

성준화 ,  양영환 ,  노준석

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .07

다양한 온도에서 Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition으로 증착한 MoO_x film의 특성

임태완 ,  장효식

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2019 .04

연구용 초소형 원자층 층착 장치 개발

이재혁 ,  최형종 ,  한권덕 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05