신규 Hf 전구체를 이용한 고온 ALD HfO₂ 박막의 불순물 특성 개선

최창익; 박재찬; 박태주

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 최창익 (한양대학교) 박재찬 (한양대학교) 박태주 (한양대학교)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2022년도 한국표면공학회 춘계학술대회

발행연도: 2022.6

수록면: 78 - 78 (1page)

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