고효율 SHJ (Silicon heterojunction) 태양전지의 전공선택층 ALD_MoOX적용과 투명 전도성 산화물 특성 비교

정민지 ,  장효식

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2022 .04

원자층 증착법으로 증착된 MoO_x를 적용한 전하 선택 접합의 이종 접합 태양전지

정민지 ,  조영준 ,  이선화 외 4명

한국재료학회지

2019 .01

플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaN_x 박막의 전기 전도도 조절

류성연 ,  최병준

한국재료학회지

2018 .01

유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구

전준혁 ,  윤성호 ,  이세준 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .07

Versatile Hole Carrier Selective MoOx Contact for High Efficiency Silicon Heterojunction Solar Cells: A Review

Shahzada Qama ,  Hussain ,  Kuma 외 10명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2019 .01

ALD 공정에서의 플라즈마 응용

이우재 ,  윤혜원 ,  이동권 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

결정질 실리콘 태양전지를 위한 PA-ALD Al₂O₃ 막의 신뢰성 연구

신경철 ,  강민구 ,  이정인 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2015 .03

High-quality SiN_x thin film growth at 300 ℃ using atomic layer deposition with hollow cathode plasma

Jae Chan Pa ,  k ,  Dae Hyun Kim 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06

결정질 실리콘 태양전지의 Al₂O₃/SiN_X 패시베이션 특성 분석

현지연 ,  송인설 ,  김재은 외 4명

Current Photovoltaic Research

2017 .06

Bandgap Control of Sn_1-xMg_xO Semiconductor Thin Film by MgO Cycle Ratio Control in Atomic Layer Deposition Method

Jin Gi An ,  Juwon Kim ,  Donghyeop Shin 외 10명

AFORE

2023 .11

R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구

김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

전자 사이클로트론 공명 플라즈마와 열 원자층 증착법으로 제조된 Al₂O₃ 박막의 물리적·전기적 특성 비교

양대규 ,  김양수 ,  김종헌 외 2명

한국재료학회지

2017 .01

Characteristics of Al₂O₃ thin films grown by using atomic layer deposition at low temperature

Suyeon Kim ,  Seung-Hun Lee ,  In Ho Jo 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

홈메이드 ALD(atomic layer deposition)의 제작과 알루미늄 옥사이드의 제작

박해범 ,  조성민 ,  김건웅 외 4명

대한전자공학회 학술대회

2021 .11

소형 원자층 증착 장치

한권덕 ,  박석원 ,  최형종 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작

최윤성 ,  심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

SiO₂ bottom-up trench fill of a high aspect ratio hole by plasma enhanced atomic layer deposition using a very high frequency plasmas and inhibitor surface treatment

안규환 ,  김호곤 ,  이용기 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06

원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인

홍민표 ,  김경민 ,  송용남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

Atomic Layer Deposition 방법을 이용한 Zinc Oxide Hybrid 박막의 기계적 물성 향상

홍민표 ,  김경민 ,  송용남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

Role of a PVA layer During lithography of SnS₂ thin Films Grown by Atomic layer Deposition

Ham ,  Giyul ,  Shin 외 7명

반도체디스플레이기술학회지

2018 .01