Rapid Thermal Annealing System의 시험 제작 ( Experimental Results of a Prototype Rapid Thermal Annealing System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

COMPUTER SIMULATION OF RAPID THERMAL ANNEALING OF THE SILICON OXIDE IN AMMONIA AMBIENT

H. Wong ,  Y. C. Cheng ,  P. T. Lai

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과 ( Effects of Annealing on Silicon Dioxide Using Rapid Thermal Process System )

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

급속 열처리 장치를 이용한 실리콘 산화막의 Annealing 효과

박현우 ,  장현룡 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

Rapid Thermal Annealing for the Thermal Oxidation and the Activation of implanted Impurities

Kazushige Ayukawa ,  Katsufusa Ayukawa

대한전자공학회 세미나

1992 .01

PARAMETRIC STUDY ON THE SHEET RESISTANCE OF THE ION IMPLANTED SILICON WAFERS AFTER RAPID THERMAL ANNEALING

Chi Hoon Jun ,  Youn Tae Kim ,  Young Soo Lee 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

METAL-INDUCED LATERAL CRYSTALLIZATION OF AMORPHOUS SILICON FILMS ON GLASS USING RAPID THERMAL ANNEALING

Kim ,  Tae-Kyung ,  Lee 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Effect of Diluent Gas and Rapid Thermal Annealing on the Properties of Plasma Deposited Silicon Nitride Film

C. W. Nam ,  S. I. Woo ,  Y. T. Kim 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

Properties of Co-silicide prepared by rapid thermal annealing

엄우용 ,  장호정 ,  장지근 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

열처리 조건이 Thermal Donors의 발생과 CZ-Si의 전기적 특성에 미치는 효과

강희성 ,  안창근 ,  권영규

대한전자공학회 학술대회

1995 .06

고속 열확산에 의해 제작된 다이오드의 Rapid Thermal Alloy ( Rapid Thermal Alloy of Fabricated Diode by Rapid Thermal Diffusion )

이동엽 ,  이영희

전자공학회논문지-A

1992 .02

Rapid Thermal Annealing Using Vertical Movable Heat Treatment Equipment

Tong Gyu Kim ,  Kazushige Ayukawa ,  Katsufusa Shono

대한전자공학회 세미나

1991 .01

RAPID THERMAL PROCESSING CHARACTERIZATION

C. B. Ya ,  ling ,  W. A. Keenan

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Effect of silver nanoparticles on the thermal and mechanical properties of PVA nanofibers during thermal annealing

육지호 ,  Tao Ren ,  설창

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2007 .04

여름철 열적 반응 평가용 열환경챔버의 제어 특성

김명호 ,  배귀남 ,  김영일 외 1명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

1999 .11

Rapid thermal annealing effect on the electrical, optical, and structural properties of Ta-doped In₂O₃ films

Hye-Min Lee ,  Sin-Bi Kang ,  Yong-Jin Noh 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

급속 열처리에 의한 다결정 실리콘 박막의 형성에 관한 연구

김태경 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Effect of thermal annealing on the degradation of organic photovoltaic cells

김호범 ,  임경근 ,  최미리 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .10

위성 열구조 모델의 열평형 시험과 열해석 (Ⅰ)

김희경 ,  이장준 ,  현범석

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2009 .04

위성 열구조 모델의 열평형 시험과 열해석 (Ⅱ)

김희경 ,  이장준 ,  현범석

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2009 .04