Silicon Epitaxy

송성해

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

고상 에피택시에 의한 초박막 $CoSi_2$ 형성과 $Si/epi-CoSi_2/Si$(111)의 이중헤테로 에피택셜 성장

최치규 ,  강민성 ,  문종 외 3명

한국재료학회지

1998 .01

MOVPE 단결정층 성장법 : Ⅲ. 원자층 성장법

정원국

한국표면공학회지

1990 .12

Selective Silicon Epitaxy에 대한 연구 ( Study on the Selective Silicon Epitaxy )

조경익 ,  송성해

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

Epitaxy behavior of various inorganics on the surface of graphene and its application for recyclable epitaxy substrate of CVD

김대우 ,  김선준 ,  최형욱 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2014 .04

Silicon Epitaxy에서 일어나는 Pattern Shift에 대한 연구 ( Pattern Shift in Silicon Epitaxy )

백문철 ,  조경익 ,  송성해

대한전자공학회 학술대회

1983 .01

CVD epitaxy 에서의 pattern shift의 분석

백문철 ,  이승한 ,  조경익 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1983 .11

분자선 ( Epitaxy )

강태원

전자공학회지

1987 .02

Silicon / Materials , Epitaxy / CVD

민석기

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

MOVPE 단결정충 성장법 : Ⅰ. 화합물 반도체 재료, 전자소자및 단결정충 성장법

정원국

한국표면공학회지

1990 .03

Molecular Beam Epitaxy를 이용한 GaAs Layer의 성장과 특성분석 ( Growth and Characterization of GaAs Layer by Molecular Beam Epitaxy )

이승웅 ,  조훈영 ,  김은규 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1992 .07

Molecular Beam Epitaxy를 이용한 GaAs layer의 성장과 특성분석

이승웅 ,  조훈영 ,  김은규 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

Atomic Layer Epitaxy 법에 의한 TiN 박막의 성장과 그 특성 ( Growth and Characteristics of TiN Thin Films by Atomic Layer Epitaxy )

이종화 ,  김동진 ,  이명복 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .11

Atomic Layer Epitaxy 법에 의한 TiN 박막의 성장과 그 특성

이종화 ,  김동진 ,  이명복 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .11

Effect of Oxygen on the Characteristics of In0.5 Ga 0.5P grown by Liquid-Phase Epitaxy

권호기 ,  S. D. Kwon ,  김인 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

HIGH QUALITY SELECTIVE EPITAXY GROWTH OF SILICON FOR DEVICE ISOLATION

H. G. Chun ,  H. S. Yang ,  S. K. Lee 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Metalorganic Vapor Phase Epitaxy

정원국

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1990 .05

Silicon Epitaxy에서의 Dopant Incorporation

조경익 ,  이승한 ,  백문철 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1983 .11

Growth and Opto-electrical properties of CdS single crystal thin film using solar cell grown by hot wall epitaxy method

Hong Kwangjoon ,  Jeong Kyunga

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2016 .03

Strained Growth Behavior in Selective Silicon Epitaxy

이정호 ,  이길호 ,  여인석 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01