Deposition Profile Control of Carbon Films on the Surface of Fine Structures using Plasma CVD

Kzuno ,  i Koga ,  Takuya Nomu 외 10명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

고 전력 DMOSFET 응용을 위한 트렌치 게이트 형성에 관한 연구

박훈수 ,  구진근 ,  이영기

전기전자재료학회논문지

2004 .01

A Novel Trench Etching Process and Analysis of Defect Formation and Residue Deposition

이주욱 ,  김상기 ,  김종대 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

4H-SiC Trench MOSFET 응용을 위한 Ar Reshape 공정 최적화

성민제 ,  강민재 ,  김홍기 외 5명

전기전자학회논문지

2018 .12

8인치 Trench MOSFET etch제조공정의 body profile 특성 향상 연구

양창헌 ,  김권제 ,  권영수 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2010 .11

TRENCH ETCHING FOR SHALLOW TRENCH ISOLATION USING $Cl_2/Ar$ PLASMA

Kim ,  C.B. ,  Jun 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

여러가지 구조를 갖는 Trench Capacitor의 전기적 특성 ( Electrical Characteristics of Trench Capacitor with Various Structures )

이진희 ,  남기수 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01

Analysis of Lattice Temperature in Super Junction Trench Gate Power MOSFET as Changing Degree of Trench Etching

Byeong-il Lee ,  Jong Min Geum ,  Eun Sik Jung 외 3명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2014 .06

Trench isolation을 사용한 다이오드의 전기적 특성

편광의 ,  양전욱 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

Trench isolation을 사용한 다이오드의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of diode using trench isolation )

편광의 ,  양전욱 ,  조경익 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

내압특성개선을 위한 트렌치 필드링 설계 및 전기적특성에 관한 연구

강이구 ,  김범준 ,  이용훈

전기전자재료학회논문지

2010 .01

500 V급 Unified Trench Gate Power MOSFET 공정 및 제작에 관한 연구

강이구

전기전자재료학회논문지

2013 .01

65 ㎚이하 shallow trench isolation (STI) gap fill 특성향상을 위한 profile 개선 연구

김희대 ,  박창기 ,  이내응

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

Effect of a Multi-Step Gap-Filling Process to Improve Adhesion between Low-K Films and Metal Patterns

Lee ,  Woojin ,  Kim 외 3명

한국재료학회지

2016 .01

Sub-5 nm ZnO Nanowires Fabricated by a Nano-trenches based on Area-selective Atomic Layer Deposition and Single-walled Carbon Nanotube Mask

Ju Yeon WOO

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .10

TRENCH 공정을 이용한 MOS DEVICE의 전기적 특성

구본재 ,  이종호 ,  문종 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

TRENCH GATE POWER MOSFET의 신뢰성 분석 연구

황준선 ,  구용서 ,  김상기 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2003 .07

Characteristics of the Micro-Trench Stack Capacitor

김성태 ,  고재홍 ,  김경훈 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Instantaneous Frequency Estimation with Modified Trench`s Method

Shiunn Jang Che ,  n ,  Lin Chung Tsai

대한전자공학회 기타 간행물

1994 .01

침투 트렌치로 인한 유출 양상의 실험 연구

이상호 ,  조희호 ,  이정민 외 1명

수질보전

2008 .01