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X-선 노광용 마스크 제작에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
투영노광장치용 고속.고정밀 Stage계의 연구동향
[ETRI] 전자통신동향분석
1990 .03
선택적 경사 노광과 후면 노광에 의한 3차원 구조물의 제작
전기학회논문지 C
2004 .01
21세기를 향한 노광기술과 스텝퍼
[ETRI] 전자통신동향분석
1992 .12
노광장비에서의 고효율 전자빔 응용 기술 현황
한국공작기계학회지
2008 .09
광노광을 위한 투영광학계의 기술분석
[ETRI] 전자통신동향분석
1990 .06
하이브리드 자외선 노광법을 이용한 3차원 고종횡비 미소구조물 제작
대한기계학회 논문집 A권
2016 .08
F-pattern 적용을 위한 노광 장치 해상력 향상에 대한 연구
대한전자공학회 학술대회
2009 .11
초 LSI시대의 최신 노광장치 기술
전자진흥
1983 .01
「초정밀 X-ray 노광장치 원리 및 개발동향」(上)
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1990 .06
「초정밀 X-ray 노광장치 원리 및 개발동향」(下)
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1990 .10
변형조명계와 감쇠형 위상반전마스크 ( Attenuated Phase Shifting Mask ) 를 조합한 Sub-Quarter Micron Contact Hole 패턴의 형성
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
(Cd${Cl}_{2}$+CdS) 분위기를 이용한 CdS 박막의 열처리 효과에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
철강 후판의 표면 검사를 위한 간이 조명계 변수 최적화
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2016 .11
차세대 FPD 노광장비용 정렬계 설계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .05
(Cd${Cl}_{2}$+ CdS) 분위기를 이용한 용액성장 CdS 열처리 효과 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
193-nm 노광장비개발 ( 193-nm Exposure Tool Development )
대한전자공학회 워크샵
1996 .01
20 ㎚급 T-형 게이트 제작을 위한 2단 전자 빔 노광 공정
대한전자공학회 학술대회
2006 .06
300mm 장치의 개발 현황 및 향후 방향
공기청정기술
2001 .01
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