지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
선택적 경사 노광과 후면 노광에 의한 3차원 구조물의 제작
전기학회논문지 C
2004 .01
투영노광장치용 고속.고정밀 Stage계의 연구동향
[ETRI] 전자통신동향분석
1990 .03
X-선 노광용 마스크 제작에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
하이브리드 자외선 노광법을 이용한 3차원 고종횡비 미소구조물 제작
대한기계학회 논문집 A권
2016 .08
21세기를 향한 노광기술과 스텝퍼
[ETRI] 전자통신동향분석
1992 .12
193-nm 노광장비개발 ( 193-nm Exposure Tool Development )
대한전자공학회 워크샵
1996 .01
노광장비에서의 고효율 전자빔 응용 기술 현황
한국공작기계학회지
2008 .09
분할노광에 의한 PDP용 패턴제작방법 ( Manufacturing Method of pattern for Plasama Display Panel Using Stitching Exposure )
대한기계학회 춘추학술대회
1998 .01
광노광을 위한 투영광학계의 기술분석
[ETRI] 전자통신동향분석
1990 .06
PDP용 수직형 구조의 근접 노광장치 개발 ( Development of Proximity Exposure System with Vertical Structure for Plasama Display Panel )
대한기계학회 논문집 A권
2000 .09
초 LSI시대의 최신 노광장치 기술
전자진흥
1983 .01
0.25mm Gate CD Control을 위한 노광장치 조명계 최적화에 대한 연구
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
차세대 FPD 노광장비용 정렬계 설계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .05
「초정밀 X-ray 노광장치 원리 및 개발동향」(下)
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1990 .10
「초정밀 X-ray 노광장치 원리 및 개발동향」(上)
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1990 .06
DMD를 이용한 마스크리스 리소그래피 시스템의 고해상도 구현을 위한 다중 빔 에너지 분석에 관한 연구
한국산학기술학회 논문지
2011 .02
평판디스플레이 노광장비용 초박형 마스크스테이지 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .05
노광장비 내 유동특성 규명을 통한 입자제어
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2011 .07
전자빔의 독립 노광 방식을 이용한 마이크로 멀티레벨 렌즈 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .06
0