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광노광을 위한 투영광학계의 기술분석
[ETRI] 전자통신동향분석
1990 .06
「초정밀 X-ray 노광장치 원리 및 개발동향」(下)
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1990 .10
「초정밀 X-ray 노광장치 원리 및 개발동향」(上)
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1990 .06
X-선 노광용 마스크 제작에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
고속정밀 절단장치 개발
한국소성가공학회 학술대회 논문집
1993 .04
선택적 경사 노광과 후면 노광에 의한 3차원 구조물의 제작
전기학회논문지 C
2004 .01
21세기를 향한 노광기술과 스텝퍼
[ETRI] 전자통신동향분석
1992 .12
노광장비에서의 고효율 전자빔 응용 기술 현황
한국공작기계학회지
2008 .09
하이브리드 자외선 노광법을 이용한 3차원 고종횡비 미소구조물 제작
대한기계학회 논문집 A권
2016 .08
F-pattern 적용을 위한 노광 장치 해상력 향상에 대한 연구
대한전자공학회 학술대회
2009 .11
0.25mm Gate CD Control을 위한 노광장치 조명계 최적화에 대한 연구
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
초 LSI시대의 최신 노광장치 기술
전자진흥
1983 .01
고속충격 시험장치를 이용한 응용 연구 동향
기계와 재료
2001 .01
피뇌장치의 기술동향
전기공업
1992 .01
초정밀 표면측정기술의 동향
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1993 .03
반도체 노광을 위한 초정밀 웨이퍼 스테이지의 설계 및 계측제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1994 .05
지도투영과 투영왜곡에 관한 연구
한국측량학회지
1998 .12
차세대 FPD 노광장비용 정렬계 설계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .05
193-nm 노광장비개발 ( 193-nm Exposure Tool Development )
대한전자공학회 워크샵
1996 .01
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