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저널정보
한국생산제조학회 한국공작기계학회지 한국공작기계학회지 제17권 제2호
발행연도
2008.9
수록면
25 - 31 (7page)

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목차

1. 서론
2. 전자빔 리소그래피의 개요
3. 나노 패터닝 장비에서 전자빔 응용 사례
4. 전자빔 미세 가공 장치의 기술 개발 분석
5. 결론
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