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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2016.8
- 수록면
- 731 - 736 (6page)
이용수
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본 연구에서는 의용생체공학에 널리 사용되는 미소바늘과 같은 3차원 고종횡비 미소구조물을 용이하게 제작할 수 있는 하이브리드 자외선 노광법에 대해 기술한다. 하이브리드 자외선 노광법은 기존에 사용되고 있는 경사노광, 회전노광 및 역노광을 혼합한 방법으로, 경사 및 회전노광은 경사진 축대칭 형상을 가지는 3차원 미소구조물의 제작이 가능하도록 하고 역노광은 자외선 노광공정 중 필연적으로 발생하는 하부기판에서의 자외선 반사를 최소화 시킨다. 자체 개발한 자외선 노광시스템과 SU-8 음성감광제를 이용하여 하이브리드 자외선 노광법의 다양한 공정조건이 최종 제작된 3차원 고종횡비 미소구조물 형상(종횡비, 선단의 곡률반경 등)에 미치는 효과를 확인한다. 또한 SU-8의 소프트 베이킹(soft baking) 조건과 미소구조물 선단 형상 사이의 관계에 대해서도 논의한다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 재료 및 방법
3. 실험결과
4. 결론
참고문헌(References)
참고문헌 (12)
참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - Barber, R. L. / 2005 / Optimisation of SU-8 Processing Parameters for Deep X-ray Lithography / Microsys. Technol 11 : 303 ~ 310
[학술지(정기간행물)] - Park, J. H. / 2005 / Biodegradable Polymer Microneedles: Fabrication, Mechanics and Transdermal Drug Delivery / J. Control. Release 104 : 51 ~ 66
[학술지(정기간행물)] - Behrmann, G. P. / 1997 / Excimer Laser Micromachining for Rapid Fabrication of Diffractive Optical Elements / Appl. Opt 36 : 4666 ~ 4676
[학술지(정기간행물)] - Yoon, Y. K. / 2006 / Multidirectional UV Lithography for Complex 3-D MEMS Structures / J. Microelectromech. Syst 15 : 1121 ~ 1130
[학술지(정기간행물)] - 박정환 / 2010 / Analysis of the Mechanical Failure of Polymer Microneedles by Axial Force / Journal of the Korean Physical Society 56 (4) : 1223 ~ 1227
[학술지(정기간행물)] - Park, J. H. / 2005 / Biodegradable Polymer Microneedles: Fabrication, Mechanics and Transdermal Drug Delivery / J. Control. Release 104 : 51 ~ 66
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[학술지(정기간행물)] - Yoon, Y. K. / 2006 / Multidirectional UV Lithography for Complex 3-D MEMS Structures / J. Microelectromech. Syst 15 : 1121 ~ 1130
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