EFFECTS OF AMINES ON COPPER ETCHING WITH H₂SO₄-H₂O₂ SYSTEMS

Katsuyoshi Kobayashi ,  Naoki Minami ,  Atsushi Chiba

한국표면공학회지

1999 .06

A SPIN-ON-GLASS FILM CURING PROCESS WITH ULTRA-VIOLET BAKE

S. I. Kim ,  H. G. Ryoo ,  C. G. Choi 외 9명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Electrical and Optical Properties in Transparent Conducting Oxides: Effect of Ultra Violet Irradiation

So ,  Byung-Soo ,  Hwang 외 1명

반도체및디스플레이장비학회지

2007 .01

Plasma etching behavior of RE-Si-Al-O glass (RE: Y, La, Gd)

이정기 ,  황성진 ,  이성민 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2010 .01

Copper based conductive film prepared under low temperature system

이원진 ,  인인식

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2013 .04

Surface Analysis of Fluorine-Plasma Etched Y-Si-Al-O-N Oxynitride Glasses

Lee ,  Jung-Ki ,  Hwang 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

방사선 , 자외선 및 초음파 조사방법을 이용한 폐수처리

강준원 ,  이경혁 ,  이면주

대한환경공학회지

1997 .01

Reduction of reflection from PET (polyethylene terephthalate) film surface by natural plasma etching

Oh ,  Hoon ,  Song 외 3명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2006 .01

나노 반도체 소자를 위한 펄스 플라즈마 식각 기술

양경채 ,  박성우 ,  신태호 외 1명

한국표면공학회지

2015 .12

The study of silicon etching using the high density hollow cathode plasma system

Yoo ,  Jin-Soo ,  Lee 외 7명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2003 .01

Dependence of cation ratio in Oxynitride Glasses on the plasma etching rate

Lee ,  Jung-Ki ,  Hwang 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

Dry Etching of Au Films Using CF4 and O2 Plasma

이종수 ,  권영세

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Investigation of Plasma Etching Properties of Polymeric Materials Used for Packaging Application

Chang-ho Ra ,  Li Huamin ,  Yoo won jong 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Plasma and Reactive Ion Etching

전영진

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

Plasma System Design for Thin Film Technologies

Junghoon Joo

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Etching Effect of Solution Plasma on Gold Nanoparticles

Junko Hieda ,  Takahi ,  o Ishizaki 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

자성 박막의 습식 식각 특성

정지원 ,  변요한

전기전자재료학회논문지

2002 .01