산소 유량별 플라즈마 방출광원 세기에 따른 전자온도 진단과 산화주석박막 특성연구

박혜진 ,  최진우 ,  조태훈 외 2명

한국표면공학회지

2016 .02

정전 탐침법과 유체 시뮬레이션을 이용한 유도결합 Ar 플라즈마의 특성 연구

차주홍 ,  이호준

전기학회논문지

2016 .07

열적 비평형 전자분포를 갖는 아르곤 플라즈마의 두 전자그룹의 상대적인 기여도에 대한 연구

이영석 ,  이장재 ,  김시준 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2018 .01

고주파 유도결합 플라즈마의 전자에너지 분포함수 특성에 관한 연구

황동원 ,  하장호 ,  전용우 외 4명

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

1998 .11

($Ar+N_2$)분위기 중에 제작된 Fe-B-Si-N 합금 박막의 연자기적 성질

박지종 ,  김종오

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Measurement of Electron Temperature and Plasma Density in Coplanar AC Plasma Display Panels.

Cho ,  Il-Ryong ,  Moon 외 7명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2003 .01

고주파 유도방전 플라즈마 특성에 관한 연구(Ⅰ)

박성근 ,  박상윤 ,  박원주 외 2명

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

1996 .11

SiON 박막 증착에 사용된 플라즈마에 대한 진단

성만영 ,  김현석 ,  김기현 외 1명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

PLASMA ASSISTED DEPOSITION OF $SiO_2$ FILMS

Falcony ,  C. ,  O 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Plasma Surface Finishing Technologies for Practical Applications

Ronghua Wei

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Initial Electron Collision Cross Sections Set of F₂ Molecular Gas for Plasma Discharge Simulation

도안뚜안 ,  심응원 ,  전병훈

대한전기학회 학술대회 논문집

2010 .07

The study of silicon etching using the high density hollow cathode plasma system

Yoo ,  Jin-Soo ,  Lee 외 7명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2003 .01

Realization of novel plasma performances based on systematic understanding of plasma behaviour using laser diagnostics

K. Mu ,  aoka

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

1999 .11

플라즈마방전 시뮬레이션을 위한 C₄F₆ 분자기체의 초기전자충돌 단면적 개발

류선미 ,  이경엽 ,  조두용 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2010 .07

유도 결합형 SF₆플라즈마 특성에 관한 연구

하장호 ,  전용우 ,  최상태 외 5명

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

1999 .11

Plasma etching behavior of RE-Si-Al-O glass (RE: Y, La, Gd)

이정기 ,  황성진 ,  이성민 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2010 .01

Reduction of reflection from PET (polyethylene terephthalate) film surface by natural plasma etching

Oh ,  Hoon ,  Song 외 3명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2006 .01

Dry Etching of Au Films Using CF4 and O2 Plasma

이종수 ,  권영세

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

플라즈마 전자빔을 이용한 금속적층 제조공정의 열전달 해석모델 개발

이호진 ,  빗리츄아 ,  강은구 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

THE EFFECT OF THE HIGH DENSITY PLASMA ON THE DIAMOND-LIKE CARBON FILMS

H. Kim ,  D.H. Jung ,  B. Pa 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10